• 간편한 설치/체결 — 센서 끝 부분이 볼트 형태로 되어 있어, 측정 대상에 나사산이 있는 구멍이 있다면 볼트를 돌려 단단하게 체결할 수 있습니다.
• 견고한 밀착 — 볼트 체결 방식을 통해 센서의 측정점(접점)을 측정 대상의 표면이나 내부에 강하게 밀착시킬 수 있어 안정적이고 정확한 온도 측정이 가능합니다.
• 고정 안정성 — 진동이나 외부 충격이 있는 환경에서도 풀림 없이 안정적으로 고정되어 측정 위치 이탈을 방지합니다.

K-type 스크류볼트 타입 열전대는 특정 지점에 센서를 확실하게 고정하여 온도를 정밀하게 측정해야 하는 다양한 산업 공정에 사용됩니다.

• 금형, 다이캐스팅 기계 — 금속을 녹이거나 성형하는 과정에서 금형 자체의 온도를 직접 측정 및 제어하는 용도.
• 히터 플레이트, 가열로 — 발열체의 표면 온도를 정밀하게 모니터링하고 제어하는 용도.
• 압출기, 사출 성형기 — 플라스틱이나 고무 등을 녹여 성형하는 과정의 실린더, 배럴 등의 온도를 측정하는 용도.
• HVAC (냉난방 및 공조 시스템) — 온도 제어 및 모니터링을 위한 센서로 활용.
• 자동차 및 엔진 테스트 — 엔진 부품, 배기가스 계통 등의 고온 측정 및 모니터링 용도.
• 연구 개발 — 실험 장비나 테스트 장치의 특정 지점 온도를 영구적으로 부착하여 측정하는 용도.

반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판을 가열하는 히터 척의 온도를 정밀하게 측정 및 제어하는 것이 주된 목적입니다.

• 정밀 공정 온도 유지 — 증착(Deposition), 식각(Etching), 열처리(Annealing) 등의 공정이 진행될 때 균일하고 정확한 온도를 유지하여 공정의 성공률과 제품의 품질을 보장합니다.
• 온도 피드백 제어 — 측정된 온도를 장비의 온도 컨트롤러(Temperature Controller)에 실시간으로 전송하여, 설정 온도(Set Point)를 벗어날 경우 히터의 출력을 조절하는 피드백 루프(Feedback Loop)의 핵심 센서 역할을 수행합니다.
• 안전 및 보호 — 과도한 온도 상승을 감지하여 장비와 웨이퍼의 손상을 방지합니다.

히터 척 온도 측정이라는 특수한 환경에 맞춰 설계된 구조적 특징을 가집니다.

• 긴 보호관 (Probe/Sheath) — 히터 척의 깊숙한 내부(웨이퍼와 가까운 위치)나 복잡한 장비 구조를 통과하여 측정 지점에 도달하기 위해 긴 형태를 가지며, 고온 및 진공 환경에서도 변형되거나 가스를 배출하지 않는 특수 스테인리스 스틸(Inconel, SUS316 등)로 제작됩니다.
• 정밀 팁 (Tip) — 보호관 끝의 측정 지점(Hot Junction)이 매우 가늘거나 뾰족하게 설계되어 측정 대상(척 또는 웨이퍼 근처)에 신속하고 정확하게 접촉·삽입될 수 있으며, 일부 제품은 빠른 응답 속도를 위해 접지형(Grounded) 방식으로 제작되기도 합니다.

• 빠른 응답 속도 — 반도체 공정은 매우 짧은 시간 내에 온도가 정확히 설정되어야 하므로, 온도 변화에 신속하게 반응할 수 있도록 센서 질량이 최소화됩니다.
• 높은 정확도 — 웨이퍼의 온도 균일성이 제품 수율에 직결되므로, 매우 작은 온도 편차까지도 정확하게 측정할 수 있는 정밀도가 요구됩니다.
• 높은 신뢰성 및 내구성 — 공정 장비의 가동률이 중요하기 때문에, 장기간 고온 환경에서 반복 사용해도 특성 변화가 적고 수명이 길어야 합니다.